测量范围 | 电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)；
方块电阻：10-4～106 Ω/□(可扩展)；
电导率：10-5～105 s/cm；
电阻：10-5～105 Ω； |
可测晶片直径 | 140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
200mmX200mm(配S-2B型测试台)标配；
400mmX500mm(配S-2C型测试台)； |
恒流源 | 电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调 |
数字电压表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
输入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示； |
四探针探头基本指标 | 间距：1±0.01mm；
针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
机械游移率：≤0.3%；
探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
探针压力：5～16 牛顿(总力)； |
四探针探头应用参数 | (见探头附带的合格证) |
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行) | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
整机测量大相对误差 | (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5% |
整机测量标准不确定度 | ≤5% |
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